• 
    
      <sub id="3enyw"><ol id="3enyw"></ol></sub>
      <sub id="3enyw"><ol id="3enyw"><nobr id="3enyw"></nobr></ol></sub>

    1. <sub id="3enyw"></sub>
    2. 還原爐底盤有哪些特點?

      2024-09-24 07:33:39 作者:整理于互聯網

      還原爐底盤具有以下特點:

      1. 結構復雜且精細:包括底盤主體,主體內又分相對間隔設置的第一底盤、第二底盤和第三底盤,形成了冷卻腔室和進氣腔室。

      2. 進氣與導流設計獨特:第三底盤設有進氣孔向進氣腔室通氣,冷卻腔室內設置多個同心間隔的導流環板,形成導流通道,使氣體均勻進入還原爐。

      3. 環隙與擋板設置:第一底盤和第二底盤分別形成多個環隙,導流環板一端與環隙連通,其位于還原爐內的一端端部設有擋板,能遮擋導流通道部分。

      4. 功能多樣的部件:導流環板一端還設置有換向環板、延長環板等,電極外設置套筒,底盤上有排氣管、冷卻水循環管等。

      5. 多種分布方式:如進氣口組、還原尾氣出口組、電極基座組沿盤體的徑向間隔開設置,且有交替設置的情況。

      6. 數量與間距設置:進氣孔、電極基座、進氣口、還原尾氣出口等數量有具體設定,電極基座組的相鄰電極基座在底盤周向上有特定間距。

      7. 組合與分層設計:有的底盤包括第一盤體和第二盤體,兩者限定出冷卻腔。

      8. 提高生產效果:能使原料氣體更均勻地進入還原爐,提高流場和溫度分布均勻性,有利于硅棒沉積,改善硅棒表面質量,避免倒棒、硅棒偏心等現象。

      (圖/文/攝:太平洋汽車 整理于互聯網)

      >>點擊查看今日優惠<<

        本文導航
        TOP推薦
        相關閱讀
        點擊加載更多
        97香蕉超级碰碰碰久久兔费_精品无码视频一区二区_91精品国产自产精品_欧美日韩在线观看视频

      • 
        
          <sub id="3enyw"><ol id="3enyw"></ol></sub>
          <sub id="3enyw"><ol id="3enyw"><nobr id="3enyw"></nobr></ol></sub>

        1. <sub id="3enyw"></sub>
        2. 日本一区二区三区免费播放 | 日本免费观A视频网 | 自拍偷拍亚洲一区二区 | 西西人体44rt高清大胆亚洲 | 视频一区二区三区欧美国产 | 亚洲中文字幕乱码专区 |